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AST 发布:AST基于ZYGO干涉仪测量产品推出3种高精密测量平台基于多年的高精密测量行业的系统经验和技术积累,AST于2018~2020年间相继推出了3种基于ZYGO干涉仪测量产片的测量平台。 3种平台已经分别应用于不同的运动台测量控制系统中。 V2000:支持ZMI2400系列平台; V4000:支持ZMI4000/4100系列平台; X5000:支持ZMI5020系列平台。
文章分类:
半导体装备
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