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AST 发布:AST基于ZYGO干涉仪测量产品推出3种高精密测量平台

基于多年的高精密测量行业的系统经验和技术积累,AST于2018~2020年间相继推出了3种基于ZYGO干涉仪测量产片的测量平台。


3种平台已经分别应用于不同的运动台测量控制系统中。


V2000:支持ZMI2400系列平台;

V4000:支持ZMI4000/4100系列平台;

X5000:支持ZMI5020系列平台。



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文章分类: 半导体装备